微纳加工技术研究部----中国科学院电工研究所

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可再生能源技术研究部

电力电子与电气驱动技术研究部

　微纳加工技术研究部

微纳加工技术研究部

作者：日期：2009-08-04 信息来源：【背景色

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本研究部主要从事电子束微纳加工技术的研究，发展具有自主知识产权的专有技术，为我国微细加工设备的研究开发提供战略性技术储备，同时探索微纳米加工技术在微机电系统和生命科学仪器中的应用。主要研究方向有：缩小投影电子束曝光技术、DAN生命科学仪器、先进光刻技术、半导体装备关键技术、微纳加工和光学检测技术、MEMS器件和微型仪器设计。

电子束曝光技术研究组

　　中国科学院电工研究所微纳加工实验室主要从事微米、纳米尺度下加工技术的研究，发展具有自主知识产权的专有技术，为我国微细加工设备的研究开发提供战略性技术储备。同时探索微纳米加工技术在微机电系统和生命科学仪器中的应用。主要研究方向有：纳米级电子束曝光机、微机电系统、DNA生命科学仪器和扫描探针显微技术。…… 详细内容 >>

微纳技术及应用研究组

　　中国科学院电工研究所“微纳技术及应用研究室 ”成立于2003年，是“电气工程”一级学科下设立的“微纳电工技术”二级学科，负责人为中科院“百人计划”入选者李艳秋研究员（教授）。研究室以国家的重大需求为导向，以解决先进光刻关键技术为目标，在微纳技术及应用领域开展新概念、新方法、新技术方面的前瞻性……详细内容 >>


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