| 论文编号: | |
| 第一作者所在部门: | |
| 论文题目: | Hard X-ray HfO2/Al2O3 multilayers fabricated by atomic layer deposition |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | Yanli Li,Weier Lu,Wensi Lv,Xiangdong Konga, HeZhang,Li Han |
| 论文出处: | |
| 刊物名称: | Thin Solid Films |
| 年: | 2024 |
| 卷: | |
| 期: | |
| 页: | |
| 联系作者: | |
| 收录类别: | |
| 影响因子: | |
| 摘要: | |
| 英文摘要: | |
| 外单位作者单位: | |
| 备注: | |
Hard X-ray HfO2/Al2O3 multilayers fabricated by atomic layer deposition